在當(dāng)今數(shù)字化時(shí)代，半導(dǎo)體作為微芯片的主要組成部分，已成為工業(yè)發(fā)展中不可或缺的關(guān)鍵要素。隨著技術(shù)的發(fā)展和市場需求的迅速增長，半導(dǎo)體的性能要求也在日益提升，對(duì)制造工藝的精度和復(fù)雜性提出了更高的挑戰(zhàn)。

在此背景下，巴魯夫憑借其在傳感器與自動(dòng)化領(lǐng)域的深厚積累，為半導(dǎo)體行業(yè)帶來創(chuàng)新的解決方案。

BES電感式傳感器

巴魯夫BES電感式傳感器以其卓越的性能和可靠性，在半導(dǎo)體生產(chǎn)的各個(gè)環(huán)節(jié)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。無論是在載具傳送、晶圓傳送還是晶圓加工過程中，都能提供精確的監(jiān)控，確保生產(chǎn)過程的連續(xù)性和穩(wěn)定性，并降低維護(hù)和存儲(chǔ)成本。

特別是在閥門監(jiān)控方面，巴魯夫開發(fā)了能夠承受高壓和高溫環(huán)境的電感式傳感器，非常適合集成到ALD閥門中。

下面我們?yōu)槟榻B巴魯夫BES電感式傳感器在各個(gè)環(huán)節(jié)中的具體應(yīng)用。

載具傳送 檢測AMHS終端位置

巴魯夫?yàn)槟O(jiān)測載具輸送車的終端位置提供了眾多選擇。根據(jù)您的需求，我們提供電感式、電容式或光電式傳感器，讓您能夠確認(rèn)AMHS位置是否正確，您的載具是否精確定位在裝載架上，確保載具傳送過程的穩(wěn)定可靠。

特點(diǎn)

1、非接觸式，即無磨損

2、具有技術(shù)多樣性，能夠高效應(yīng)對(duì)各種需求

晶圓傳送 檢測末端執(zhí)行器上的晶圓位置

巴魯夫電感式傳感器不僅能讓您確定末端執(zhí)行器上是否存在晶圓，同時(shí)檢測晶圓的確切位置。這些傳感器具備短路保護(hù)功能，允許緊密相鄰安裝，以實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)位置檢測。其緊湊的外形設(shè)計(jì)，使得它們能夠輕松地集成到末端執(zhí)行器上，具有更高的靈活性。

特點(diǎn)

1、可靠的電纜斷裂和短路自診斷

2、外形規(guī)格多樣，滿足具體應(yīng)用需求

3、能夠集成到末端執(zhí)行器上

晶圓加工 可靠地控制流量閥

在晶圓加工環(huán)節(jié)，當(dāng)進(jìn)入工藝室的介質(zhì)正常流動(dòng)是由閥門控制時(shí)，閥門的可靠運(yùn)作至關(guān)重要。巴魯夫的電感式傳感器以其卓越的堅(jiān)固性和緊湊設(shè)計(jì)，能夠無縫集成到閥門系統(tǒng)中，確保閥門操作的精確性和連續(xù)性，從而保障整個(gè)晶圓加工過程的穩(wěn)定性和效率。

特點(diǎn)

1、外形小巧，易于集成

2、安裝完成后，傳感器后端的LED可提供可視信息

3、無需外部放大器

半導(dǎo)體自動(dòng)化就選巴魯夫

巴魯夫提供多樣化的電感式傳感器以滿足不同應(yīng)用和行業(yè)需求。巴魯夫的產(chǎn)品包括標(biāo)準(zhǔn)型、耐高壓型和防磁型等，采用多種外殼材料和密封技術(shù)，確保適配性。提供多種外殼直徑和螺紋尺寸，便于集成，即使在空間受限的場合也能提供高效解決方案。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，巴魯夫的產(chǎn)品不僅滿足多樣化的工業(yè)需求，還特別針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境進(jìn)行定制，確保高精度和可靠性。通過巴魯夫先進(jìn)的傳感器技術(shù)，助力您的生產(chǎn)流程實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化和智能化，提高效率并降低成本，讓您在激烈的市場競爭中取得優(yōu)勢(shì)。

（來源：巴魯夫）